硅基材料的主要用途是在各类半导体器件上的应用，主要以功率器件、微波器件为应用和发展方向。硅基材料是以硅材料为基础发展起来的新型材料，包括绝缘层上的硅材料、锗硅材料、多孔硅、微晶硅以及以硅为基底异质外延其他化合物半导体材料等。

硅材料是重要的半导体材料，化学元素符号Si，电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平。

在研究和生产中，硅材料与硅器件相互促进。在第二次世界大战中，开始用硅制作雷达的高频晶体检波器。所用的硅纯度很低又非单晶体。硅是地壳上最丰富的元素半导体，性质优越而工艺技术比较成熟，已成为固态电子器件的主要原料。